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经营范围
发明名称
Silanhaltige Polierzusammensetzung für Chemisch-Mechanisches Polieren
摘要
申请公布号
DE60130213(T2)
申请公布日期
2007.12.20
申请号
DE20016030213T
申请日期
2001.06.14
申请人
CABOT MICROELECTRONICS CORP.
发明人
GRUMBINE, STEVEN K.;WANG, SHUMIN
分类号
B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321
主分类号
B24B37/00
代理机构
代理人
主权项
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