发明名称 Semiconductor device fabrication
摘要
申请公布号 US3024179(A) 申请公布日期 1962.03.06
申请号 US19590798825 申请日期 1959.03.12
申请人 PHILCO CORPORATION 发明人 SANDERS DONALD P.
分类号 C25F3/12;H01L21/00;H01L21/288;H01L29/00 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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