Mikromechanischer Filter für Mikropartikel, insbesondere für pathogene Bakterien und Viren, sowie Verfahren zu seiner Herstellung

摘要

Ein mikromechanischer Filter (10) für Mikropartikel ist insbesondere zur Filterung pathogener Bakterien und Viren geeignet und umfasst ein Substrat (11) sowie eine fest mit dem Substrat (11) verbundene perforierte Membran (12) zum Herausfiltern von Mikropartikeln aus einem Medium beim Durchströmen der Membran (12) und weiterhin eine Einrichtung zum Entfernen der herausgefilterten Mikropartikel von der Oberfläche der Membran (12). Die Einrichtung zum Entfernen der Mikropartikel ist beispielsweise als Heizeinrichtung (13a, 13b) ausgestaltet, um die an der Oberfläche der Membran befindlichen Mikropartikel zu verbrennen. Sie kann auch als Aktorstruktur zur Verformung der Membran oder als Mikroinjektor zur Erzeugung einer Strömung parallel zur Oberfläche der Membran ausgestaltet sein.