发明名称 Elektrische Quantifizierung einer Verkürzung eines Leitbahnendes und Vorrichtung dafür
摘要
申请公布号 DE102004017412(B4) 申请公布日期 2007.12.20
申请号 DE200410017412 申请日期 2004.04.08
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 WARNER, DENNIS JOHN
分类号 H01L21/768;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/3205;H01L21/66;H01L23/544 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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