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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Ätzen von Silizium
摘要
申请公布号 DE60034274(T2) 申请公布日期 2007.12.20
申请号 DE20006034274T 申请日期 2000.07.13
申请人 M-FSI LTD.;DISCO CORP. 发明人 YONEYA, AKIRA;KOBAYASHI, NORIYUKI;IZUTA, NOBUHIKO
分类号 H01L21/00;H01L21/306 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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