发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 本发明涉及包括一个带有集成的PN二极管的沟槽-结-势垒-肖特基二极管的半导体装置(30)及其制造方法。
申请公布号 CN101091260A 申请公布日期 2007.12.19
申请号 CN200580037812.2 申请日期 2005.10.21
申请人 罗伯特·博世有限公司 发明人 A·格拉赫;曲宁
分类号 H01L29/872(2006.01);H01L21/329(2006.01);H01L29/861(2006.01);H01L29/866(2006.01) 主分类号 H01L29/872(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 侯鸣慧
主权项 1.半导体装置(30,40,50,60,70),包括带有集成的PN二极管的沟槽-结-势垒-肖特基二极管。
地址 德国斯图加特