微冲击测试设备

摘要

一种微冲击测试设备，用于测量其上受到冲击的微电子样品的冲击特性。该设备包括容纳待测样品的样品架，和冲击装置。冲击装置包括冲击头、支撑部件、至少一个连接元件和第一挠性弹簧。由于第一挠性弹簧牢固地一端连接到支撑部件，另一端连接到连接元件，所以支撑部件连接到连接元件。至少基本与第一挠性弹簧相同的第二挠性弹簧牢固地一端连接到连接元件，另一端连接到冲击头，以使第一和第二挠性弹簧的端部在其未加载状态形成矩形。冲击头可相对于第一和第二挠性弹簧沿弹簧加载位置和其冲击位置之间的线性线平移移动。样品架与冲击装置对准，以使样品布置在冲击头冲击位置，使冲击头能够在从加载位置释放时沿线性线在从加载位置朝向冲击位置移动后冲击在样品上。

主权项

1.一种微冲击测试设备，用于测量其上受到冲击的微电子样品的冲击特性，所述设备包括：样品架，用于容纳待测样品，和冲击装置，包括：冲击头，支撑部件，至少一个连接元件，第一挠性弹簧，其中，由于所述第一挠性弹簧牢固地以其一端连接到所述支撑部件，并且以其另一端连接到所述连接元件，所以所述支撑部件连接到所述连接元件上，和第二挠性弹簧，至少基本与所述第一挠性弹簧相同；其中，由于所述第二挠性弹簧牢固地以其一端连接到所述连接元件，并且以其另一端连接到所述冲击头，所以所述连接元件连接到冲击头上，以在所述挠性弹簧的未加载状态中，使所述第一和第二挠性弹簧的端部形成矩形，由此所述冲击头可相对于所述第一和第二挠性弹簧沿线性线在弹簧加载位置和其冲击位置之间横向移动，并且其中所述样品架与所述冲击装置对准，以使所述样本布置在冲击头的所述冲击位置中，使所述冲击头在其从所述加载位置释放时，从其加载位置沿所述线性线朝向其冲击位置移动后，能够冲击在所述样品上。