| 发明名称 | 可移动转移腔室和包含可移动转移腔室的衬底处理设备 | ||
| 摘要 | 一种衬底处理设备包含：复数个模块，其沿着一第一方向而安置，所述复数个模块中的每一者具有一可含有一衬底的内部空间；和一转移单元，其在所述复数个模块之间转移所述衬底，所述转移单元包含沿着所述第一方向而安置的至少一个轨道和沿着所述至少一个轨道而移动的至少一个可移动转移腔室，其中所述至少一个可移动转移腔室在移动时气压上与外部隔离。 | ||
| 申请公布号 | CN101090085A | 申请公布日期 | 2007.12.19 |
| 申请号 | CN200610109870.8 | 申请日期 | 2006.08.18 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司;阿西斯自动系统股份有限公司 | 发明人 | 克劳斯·赫格勒 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王允方;刘国伟 |
| 主权项 | 1.一种衬底处理设备，其包括：复数个模块，其沿着一第一方向而安置，所述复数个模块中的每一者具有一可含有一衬底的内部空间；和一转移单元，其在所述复数个模块之间转移所述衬底，所述转移单元包含沿着所述第一方向而安置的至少一个轨道和沿着所述至少一个轨道而移动的至少一个可移动转移腔室，其中所述至少一个可移动转移腔室在移动时气压上与一外部隔离。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||