射频板条CO<SUB>2</SUB>激光器匹配系统可变电容器的自动调节装置

摘要

本实用新型涉及一种射频板条CO₂激光器匹配系统可变电容器的自动调节装置，包括可变电容C₁与C₂、电感L、同轴电缆(8)、射频板条CO₂激光器(7)、射频源(1)、微波检波器(2)、小信号放大电路(3)、PLC(4)和步进电机(5)，将可变电容C₁和C₂的正极用电感L相连，可变电容C₁的正极与50Ω的同轴电缆相连，可变电容C₂的正极与射频板条CO₂激光器的电极相连，构成了π型网络阻抗匹配器(6)，将同轴电缆与射频源的输出端相连，将射频源的反向定向耦合器的反射功率监测端与微波检波器的输入端相连，微波检波器的输出端与小信号放大电路的输入端相连，小信号放大电路的输出端与PLC相连，PLC与步进电机的控制器相连，步进电机的连接可变电容C₂。本实用新型使射频板条CO₂激光器顺利起辉、稳定放电。

主权项

1、一种射频板条CO2激光器匹配系统可变电容器的自动调节装置，其特征在于：它包括可变电容C1与C2、电感L、同轴电缆(8)、射频板条CO2激光器(7)、射频源(1)、微波检波器(2)、小信号放大电路(3)、PLC(4)和步进电机(5)，将可变电容C1和C2的正极用电感L相连，将可变电容C1的正极与50Ω的同轴电缆(8)相连，将可变电容C2的正极与射频板条CO2激光器(7)的电极相连，将可变电容C1和C2的负极接地，构成了π型网络阻抗匹配器(6)，将同轴电缆(8)与射频源(1)的输出端相连，将射频源(1)的反向定向耦合器的反射功率监测端与微波检波器(2)的输入端相连，微波检波器(2)的输出端与小信号放大电路(3)的输入端相连，小信号放大电路(3)的输出端与PLC(4)的模拟量输入端相连，其中PLC(4)采用晶体管输出型的PLC来实现脉冲输出功能，PLC(4)的脉冲输出端与步进电机(5)的控制器相连，步进电机(5)的输出轴端连接可变电容C2。