光波导参数测量仪

摘要

一种导波光学和光电子领域的光波导参数测量仪，包括：准直激光器、偏振器、分束镜、小孔、倍角转台、测量探测器、聚焦透镜、自准探测器、调节支架、光学平板、电气控制箱、计算机。准直激光器、偏振器、分束镜、小孔、聚焦透镜、自准探测器均固定在调节支架上，调节支架再固定在光学平板上，倍角转台平放在光学平板上，测量探测器固定在倍角转台上，测量探测器和自准探测器同时通过数据线与电气控制箱及计算机相连。本发明可以测量薄膜材料的折射率和厚度、光波导折射率轮廓和传输损耗等多种参数，且测量范围有较大的扩展，测量精度也得到明显的提高，具有操作简单、准确可靠、快速测量、界面友好等特性。

主权项

1、一种光波导参数测量仪，包括：准直激光器(1)、偏振器(2)、分束镜(3)、小孔(4)、聚焦透镜(7)、调节支架(9)、光学平板(10)、电气控制箱(11)、计算机(12)，其特征在于，还包括：倍角转台(5)、测量探测器(6)、自准探测器(8)，其连接关系为：准直激光器(1)、偏振器(2)、分束镜(3)、小孔(4)、聚焦透镜(7)、自准探测器(8)均固定在调节支架(9)上，调节支架(9)再固定在光学平板(10)上，倍角转台(5)平放在光学平板(10)上，波导待测样品放在倍角转台(5)上，测量探测器(6)固定在倍角转台(5)上，测量探测器(6)和自准探测器(8)与电气控制箱(11)连接，经信号放大与模数转换后与计算机(12)相连；准直激光器(1)、偏振器(2)、分束镜(3)、小孔(4)、自准探测器(8)、波导待测样品、倍角转台(5)、测量探测器(6)光路同轴等高，准直激光器(1)所发出的准直激光经过偏振器(2)后变成S或P偏振光，再经过分束镜(3)和小孔(4)、聚焦透镜(7)后入射在波导待测样品上，入射光在样品表面发生反射，反射光被测量探测器(6)接收，测量探测器(6)记录光强，自准探测器(8)用于测量角的自动零角度校准及定位，自准探测器(8)的输出和测量探测器(6)的输出通过电气控制箱(11)，经信号放大与模数转换后与计算机(12)相连。