发明名称 |
用于制造平板显示器的设备 |
摘要 |
一种平板显示器(FPD)制造设备,其构造能容易地处理大尺寸基板同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。 |
申请公布号 |
CN101089922A |
申请公布日期 |
2007.12.19 |
申请号 |
CN200710138454.5 |
申请日期 |
2005.02.25 |
申请人 |
爱德牌工程有限公司 |
发明人 |
李荣钟;崔浚泳;曹生贤;尹炳五;金敬勋;郑洪基 |
分类号 |
G09F9/00(2006.01);G02F1/133(2006.01);H01J9/00(2006.01) |
主分类号 |
G09F9/00(2006.01) |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
蔡洪贵 |
主权项 |
1.一种用于在装载锁定室中装载基板的方法,包括以下步骤:A)打开装载锁定室的开口,并通过使用基板馈送自动机将基板插入到装载锁定室中,同时将馈送自动机的末端执行器插入到装载锁定室的末端执行器容纳凹槽中;B)降低在末端执行器容纳凹槽中的馈送自动机的末端执行器,由此在装载锁定室中装载基板;C)水平移动馈送自动机,由此从装载锁定室退出馈送自动机;以及D)关闭开口,以及在装载锁定室中建立真空环境。 |
地址 |
韩国京畿道 |