一种加速热载流子注入测试的方法

摘要

一种加速热载流子注入测试方法，包括以下步骤：a分别测量不同温度下的在不同偏置电压下漏极电流、衬底电流相对时间的曲线；b设定失效条件，将达到该失效条件的时间称为失效时间；c将失效时间与漏极饱和电流之积和衬底电流与漏极饱和电流之商在坐标上绘出得出它们相互之间的关系式；d.将失效时间与温度在坐标上绘出得出它们之间相互关系；e.在低温下进行失效试验，根据失效时间与温度的关系推出其他温度下的失效时间。本发明能够加快测量时间迅速地获得预测寿命结果。

主权项

1、一种加速热载流子注入测试方法，其特征在于包括以下步骤：a.分别测量不同温度下的在不同偏置电压下漏极电流、衬底电流相对时间的曲线；b.设定失效条件，将达到该失效条件的时间称为失效时间；c.将失效时间与漏极饱和电流之积和衬底电流与漏极饱和电流之商在坐标上绘出得出它们相互之间的关系式；d.将失效时间与温度在坐标上绘出得出它们之间相互关系；e.在低温下进行失效试验，根据失效时间与温度的关系推出其他温度下的失效时间。