超灵敏的金属氧化物气体传感器及其制作方法

摘要

公开了一种超灵敏的金属氧化物气体传感器的制作方法，该方法包括以下步骤：将含有金属氧化物前驱体和聚合物的混合溶液在传感器电极上纺丝，形成金属氧化物前驱体－聚合物的复合纤维；热压缩或热加压所述复合纤维；并热处理所述热压缩或热加压过的复合纤维以去除复合纤维中的聚合物。由于该气体传感器在纳米纤维间具有大孔，在纳米棒和/或纳米颗粒间具有中孔，因此气体的扩散和表面积可以最大化。同样，通过快速提高金属氧化物薄层和传感器电极间的附着力，可以得到具有很高的机械稳定性、热稳定性和电稳定性的超灵敏传感器。

主权项

1、一种超灵敏金属氧化物气体传感器，该传感器包括：传感器电极；和形成于所述传感器电极上的多孔金属氧化物薄层，该多孔金属氧化物薄层具有由单晶体纳米棒组成的纳米纤维的网状结构。