极低温冷冻装置

摘要

极低温冷冻装置，具有JT冷冻机和预冷冷冻机。JT冷冻机具有JT阀和第一开闭阀，该JT阀在解除闭塞运转时被全开，该第一开闭阀设在JT回路的低压路线上，并且在解除闭塞运转时被关闭。极低温冷冻装置具有将氦罐内的氦气回收到缓冲罐中的PL配管。PL配管具有在解除闭塞运转时被打开的第二开闭阀和第三开闭阀。

主权项

1.一种极低温冷冻装置，具有压缩机、JT冷冻机、第1热交换器、预冷冷冻机、第1开闭阀；上述JT冷冻机具有使从上述压缩机排出的高压制冷剂气体焦耳-汤姆逊膨胀的JT阀和储存由焦耳-汤姆逊膨胀液化了的制冷剂的制冷剂罐；上述第1热交换器具有使从上述压缩机排出的高压制冷剂气体流通的高压侧流路和使来自上述制冷剂罐的低压制冷剂气体流通的低压侧流路，使该高压侧流路的高压制冷剂气体与该低压侧流路的低压制冷剂气体热交换；上述预冷冷冻机在由上述JT阀进行的膨胀前预冷由上述第1热交换器冷却的高压制冷剂气体；上述第1开闭阀设置在上述第1热交换器的低压侧流路的出口侧；其特征在于，具有气体制冷剂回收管，上述气体制冷剂回收管具有第2开闭阀，连接上述制冷剂罐和上述压缩机的吸入侧的配管；实行与打开上述JT阀的同时关闭上述第1开闭阀、且打开上述第2开闭阀，一方面使从上述压缩机排出的制冷剂至少在上述第1热交换器的高压侧流路及上述JT阀中流通并导入上述制冷剂罐、一方面使上述制冷剂罐的制冷剂气体通过上述气体制冷剂回收管进行回收的闭塞消除运转。