一种加工晶体生长所使用籽晶的装置

摘要

本实用新型公开了一种加工晶体生长所使用籽晶的装置，其用途是可以生产垂直布里奇曼法或垂直梯度凝固法(VB/VGF法)生长晶体所使用的高质量籽晶，并提高工艺的重复性及加工效率。本实用新型的装置包括左侧系统、右侧系统和冷却系统，所述左侧系统包括砂轮驱动电机、左连接件、砂轮、左导轨、左丝杠、左手柄和左侧底座；所述右侧系统包括套管、卡头、右连接件、套管驱动电机、右导轨、右丝杠、右手柄和右侧底座；所述冷却系统包括冷却管、水箱和集水盘。

主权项

1、一种加工晶体生长所使用籽晶的装置，其特征是：包括左侧系统、右侧系统和冷却系统，所述左侧系统包括砂轮驱动电机(6)、左连接件(131)、砂轮(7)、左导轨、左丝杠、左手柄(111)和左侧底座(151)；所述右侧系统包括套管(3)、卡头(4)、右连接件(132)、套管驱动电机(1)、右导轨(2)、右丝杠、右手柄(112)和右侧底座(152)，所述冷却系统包括冷却管(12)、水箱(10)和集水盘(9)；在所述左侧系统中，砂轮驱动电机(6)通过轴承、左连接件(131)与砂轮(7)相连；左丝杠在左手柄(111)的后面，左连接件(131)设置在左导轨上并通过左丝杠与左手柄(111)相连，左连接件(131)受左手柄(111)驱动的左丝杠的旋转而在左导轨上前后移动；在所述右侧系统中，卡头(4)装在套管(3)中；套管(3)与右连接件(132)固定连接；套管驱动电机(1)通过轴承与右连接件(132)相连；右丝杠处于右连接件(132)和右手柄(112)之间，通过两个相互垂直的斜齿轮与右手柄(112)相连，将右手柄(112)的转动转化为水平方向放置的右丝杠的转动；右连接件(132)设置在右导轨(2)上并通过右丝杠与右手柄(112)相连，右连接件(132)受右手柄(112)驱动的右丝杠的旋转而在右导轨(2)上左右移动；在所述冷却系统中，冷却管(12)设置在砂轮(7)上方，水箱(10)设置在工作平台(16)下方，集水盘(9)通过管道与水箱(10)相连。