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发明名称 Polymers, resist compositions and patterning process
摘要
申请公布号 EP1150166(B1) 申请公布日期 2007.12.19
申请号 EP20010303868 申请日期 2001.04.27
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 HASEGAWA, KOJI;NISHI, TSUNEHIRO;KINSHO, TAKESHI;WATANABE, TAKERU;NAKASHIMA, MUTSUO;TACHIBANA, SEEICHIRO;HATAKEYAMA, JUN
分类号 G03F7/039;C08F222/06;C08F222/40;C08F232/08;G03F7/004 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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