| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR LASER STRUCTURING FUNCTIONAL POLYMERS AND THE USES THEREOF |
| 摘要 |
<p>The invention relates to a device and process for laser structuring and applications thereof in the production of semiconductors.</p> |
| 申请公布号 |
EP1487605(B1) |
申请公布日期 |
2007.12.19 |
| 申请号 |
EP20030711841 |
申请日期 |
2003.03.12 |
| 申请人 |
POLYIC GMBH & CO. KG |
发明人 |
BERNDS, ADOLF;CLEMENS, WOLFGANG;ROTH, HANS-KLAUS;SCHROEDNER, MARIO;STOHN, RALF-INGO |
| 分类号 |
B23K26/06;B23K26/08;B23K26/40;G03F7/00;H01L51/00;H01L51/40;H05K3/00 |
主分类号 |
B23K26/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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