复合压阻式土应力传感器

摘要

一种复合压阻式土应力传感器由传感器壳体、分别设置于壳体的用于感受土体应力的应力敏感组件和用于测量渗透水的水压敏感组件组成，应力敏感组件为具有惠斯通电桥结构的硅敏感芯片，应力敏感组件受压面面对壳体的正面，壳体的正面外侧焊固有感受土应力的弹性体，并与应力敏感组件受压面之间形成的密封腔体填充有压力传递介质；水压敏感组件为具有惠斯通电桥结构的硅敏感芯片，水压敏感组件受压面面对壳体的背面，位于水压敏感组件受压面的壳体背面部位安装有透水石，本发明在于可以更准确地测量土体的有效应力，并采用集成电路技术和模块化技术来大批量生产，具有一致性好、廉价、低频特性好、信号处理简单、方便等特点。

主权项

1、一种复合压阻式土应力传感器，其特征在于，由传感器壳体、分别设置于该壳体的用于感受土体应力的应力敏感组件和用于测量渗透水的水压敏感组件组成，其中：1)该应力敏感组件为具有惠斯通电桥结构的硅敏感芯片(51)，该应力敏感组件受压面面对该壳体的正面，该壳体的正面外侧焊固有感受土应力的弹性体(2)，并与该应力敏感组件受压面之间形成的密封腔体填充有压力传递介质(3)；2)该水压敏感组件为具有惠斯通电桥结构的硅敏感芯片(52)，该水压敏感组件受压面面对该壳体的背面，位于该水压敏感组件受压面的该壳体背面部位安装有透水石。