激光加工用的间隙检测装置及方法、激光加工用系统

摘要

本发明提供能够高精度地检测输出激光加工机中的激光的喷头与加工对象物之间的间隙的激光加工用的间隙检测装置及方法、激光加工用系统。信号处理单元(24)求间隙静电电容Cg与等离子阻抗Zp的合成阻抗Z的倒数，从该倒数的虚部求作为间隙静电电容Cg与等离子阻抗中包含的静电电容成分之和的合成静电电容，从该倒数的实部求等离子阻抗中包含的电阻成分，间隙检测装置(20)使用表现等离子阻抗的倒数的特性的模型和电阻成分求静电电容成分，从合成静电电容减去该静电电容成分求间隙静电电容Cg，间隙检测装置(20)从所求出的间隙静电电容Cg求间隙。

主权项

1.一种激光加工机用的间隙检测装置，该间隙检测装置检测输出激光加工机中的激光的喷头与由该激光加工的加工对象物之间的间隙，其特征在于具备：求合成阻抗的倒数即合成导纳的合成导纳取得单元，该合成阻抗为合成依赖于上述间隙的间隙静电电容与依赖于对上述加工对象物的激光加工中发生的等离子的等离子阻抗的阻抗；根据上述合成导纳的虚部，求上述间隙静电电容与在上述等离子阻抗中包含的静电电容成分之和即合成静电电容的合成静电电容取得单元；根据上述合成导纳的实部，求在上述等离子阻抗中包含的电阻成分的电阻成分取得单元；使用表示上述电阻成分与上述静电电容成分的关系的模型和由上述电阻成分取得单元求出的上述电阻成分，求上述静电电容成分的静电电容成分取得单元；从上述合成静电电容减去上述静电电容成分，求上述间隙静电电容的间隙静电电容取得单元；根据由上述间隙静电电容取得单元求出的上述间隙静电电容，求上述间隙的间隙取得单元。