液体输送装置和生产该装置的方法

摘要

一种生产至少一个液体输送装置的方法，该液体输送装置通过使设在与至少一个液体腔室相对的位置处的其压电元件变形，并且由此向在至少一个液体腔室中的液体施加压力，从而该装置从其至少一个液体腔室将液体输送给在该至少一个液体输送装置外面的位置。该方法包括以下步骤：将具有至少一个限定了至少一个液体腔室的开口的第一板构件和覆盖着该至少一个开口的第二板构件彼此叠置，从而形成一整体层叠体；用压电元件的材料在与层叠体的第一板构件的该至少一个开口相对的层叠体的至少一部分第二板构件上形成一层；并且对形成在层叠体上的该层进行退火，由此使该层的材料结晶化，从而使该层变成压电元件。

主权项

1.一种生产至少一个液体输送装置的方法，该液体输送装置通过使设在与至少一个液体腔室相对的位置处的其压电元件变形，并且由此向在该至少一个液体腔室中的液体施加压力，从而该液体输送装置从其至少一个液体腔室将液体输送给在至少一个液体输送装置外面的位置，该方法的特征在于包括以下步骤：将具有限定了至少一个液体腔室的至少一个开口的第一预成型板构件和覆盖着该至少一个开口的第二预成型板构件彼此叠置，并通过扩散结合或阳极结合将第一和第二预成型板构件相互结合在一起，从而形成一整体层叠体；用压电元件的材料在与层叠体的第一预成型板构件的该至少一个开口相对的层叠体的至少一部分第二预成型板构件上形成一层；并且对形成在层叠体上的该层进行退火，由此使该层的材料结晶化，从而使该层变成压电元件。