| 发明名称 | 平台用反作用力处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种平台用的反作用力处理装置，使直线电动机的反作用力不通过地面传播到平台。平台用反作用力处理装置(100)具有第一地面下结构体(110)和第二地面下结构体(120)，第一地面下结构体(110)支撑平台装置(10)的架台(12)，第二地面下结构体(120)支撑直线电动机支撑部(46)。第一地面下结构体和第二地面下结构体被收纳到地面下凹部(140)内，该地面下凹部形成于地面(130)的平台装置所设置的平台设置部(132)的下方。在此地面下凹部(140)内形成非接触空间(150)，使第一地面下结构体和第二地面下结构体分开。 | ||
| 申请公布号 | CN101090086A | 申请公布日期 | 2007.12.19 |
| 申请号 | CN200710111812.3 | 申请日期 | 2007.06.15 |
| 申请人 | 住友重机械工业株式会社 | 发明人 | 原田真;小原达也;小林雄二 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01);H01L21/00(2006.01);B23Q1/30(2006.01);B05B13/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 胡建新 |
| 主权项 | 1.一种设置平台装置的平台用反作用力处理装置，该平台装置具有固定于地面的固定台、与该固定台侧面平行配置的驱动机构、支撑该驱动机构的支撑部、可移动地支撑在上述固定台并通过上述驱动机构的驱动力移动的平台，其特征在于，将支撑上述固定台的第一地面下结构体和支撑上述支撑部的第二地面下结构体分开设置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||