主动组件数组基板及其制造方法

摘要

本发明一种主动组件数组基板的制造方法。提供一基板，且基板上已形成多条扫描线、多条数据线、多个主动组件、多条共享线、一第一介电层与一第二介电层。各主动组件通过由扫描线与数据线控制，且第一介电层由各主动组件中延伸至画素区域上方，而第二介电层覆盖于基板上。利用一半色调光罩移除部分第二介电层，以形成多个接触窗，并在部分各画素区域上的共享在线方形成一凹陷。在各画素区域上方形成一画素电极，而画素电极与共享线耦合成一储存电容，且这些储存电容区分为两种以上。由于同一基板上能够形成出两种以上的储存电容，因此RC延迟效应能够获得改善。

主权项

1.一种主动组件数组基板的制造方法，其特征在于包括：提供一基板，该基板上已形成多条扫描线、多条数据线、多个主动组件、多条共享线、一第一介电层与一第二介电层，其中该扫描线与该数据线在该基板上定义出多个画素区域，而该共享线配置于该基板上，各该主动组件分别通过由相对应的该扫描线与该数据线控制，且该第一介电层由各该主动组件中延伸至该画素区域上方，而该第二介电层覆盖该扫描线、该数据线、该共享线、该主动组件与该第一介电层；提供一半色调光罩，并利用该半色调光罩移除部分该第二介电层，以形成多个接触窗，并在部分各该画素区域上的该共享在线方形成一凹陷；以及在各该画素区域上方形成一画素电极，而该画素电极与该共享线耦合成一储存电容，且各该画素电极经由相对应的该接触窗电性连接至该主动组件，其中该储存电容区分为两种以上。