| 发明名称 | 真空装置的密封结构 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种使真空容器(2)和与真空容器(2)的开口部连接并封闭该开口部的部件的盖体(3)之间密封的密封结构。在存在于真空容器(2)与盖体(3)之间的弹性体制的O形环(64)的内部形成有空腔(66)，在空腔(66)内配置有冷却管(65)。制冷剂在冷却管(65)内流动，冷却O形环(64)。因为透过固体内部的气体的透过率随温度而变化，因此，通过冷却O形环(64)能够减少透过O形环(64)的气体、特别是氧气的透过量，能够维持真空容器(2)内的高的真空度。因为O形环(64)从内侧冷却，所以能够局部地只冷却O形环(64)，O形环(64)的冷却不会对真空装置其它部分的温度控制产生影响。 | ||
| 申请公布号 | CN101091006A | 申请公布日期 | 2007.12.19 |
| 申请号 | CN200680001442.1 | 申请日期 | 2006.06.07 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 田中惠一 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01);F16J15/10(2006.01);H01L21/22(2006.01);H01L21/324(2006.01) | 主分类号 | C23C16/44(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种真空装置的密封结构，其特征在于，在所述真空装置的密封结构中，包括：收纳被处理体的真空容器；封闭所述真空容器开口部的封闭部件；和由弹性体制成的环状密封部件，以弹性变形的状态夹持在所述真空容器和所述封闭部件之间，使所述真空容器和所述封闭部件之间气密地密封，并且，在所述密封部件的内部，形成有沿所述密封部件的周缘方向延伸的空腔，制冷剂在其内部流通的冷却管被插入所述空腔中。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||