固体摄像元件的制造方法

摘要

本发明的目的在于，提供一种不必增加组装工序的工序数地安装了红外线阻断滤光器的固体摄像元件的制造方法。在由半导体基板(1)的划线(5)所划分的各区域(1a)上形成受光元件，并层叠彩色滤光器(2)，以覆盖该受光元件的形成区域(1a)。然后，利用具有透光性的环氧粘接剂等树脂层(3)，覆盖受光元件形成区域(1a)，形成粘合固定了在玻璃材料或塑料材料等透明基板(4a)的表面上蒸镀了红外线反射薄膜(4b)的红外线阻断滤光器的层叠体。通过沿划线切断该层叠体，以分割为一个一个的固体摄像元件，从而制造大量的固体摄像元件。

主权项

1.一种固体摄像元件的制造方法，其特征在于，包括：在由半导体基板表面上的划线所划分的区域上形成受光元件，层叠彩色滤光器，以覆盖该受光元件的形成区域的第一工序；形成通过具有透光性的树脂层粘合固定了覆盖所述受光元件形成区域的阻断滤光器的层叠体的第二工序；和沿所述半导体基板的划线切削所述层叠体，以分割所述层叠体的第三工序。