| 发明名称 |
METHOD FOR IMAGING MEASUREMENT, IMAGING MEASURING DEVICE AND USE OF MEASURED INFORMATION IN PROCESS CONTROL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1281052(B1) |
申请公布日期 |
2007.12.19 |
| 申请号 |
EP20010925588 |
申请日期 |
2001.03.30 |
| 申请人 |
OSEIR OY |
发明人 |
HAEMAELAEINEN, ESA;VATTULAINEN, JUHA |
| 分类号 |
G01J3/00;G01J3/51;G01J5/48;G01J5/60;G01B11/10 |
主分类号 |
G01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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