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发明名称 COATING UNIT AND COATING METHOD
摘要
申请公布号 KR100786455(B1) 申请公布日期 2007.12.17
申请号 KR20010062011 申请日期 2001.10.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;B05C11/08;B05D1/00;B05D1/40;B05D3/04;B05D3/12;G03F7/16;H01L21/00 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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