内连线气穴的集积度控制与可靠性强化

摘要

本发明提供一种经改良之积体电路以及积体电路制造方法，以便基于在内连线堆叠内之内连线之线与通道之边缘上引入聚合物材料而在高速铜内连线内引入高度受控之气穴，以此方式并入且控制气穴形成，因此强化半导体内连线之讯号传播效能。