| 摘要 |
用于测量大直径薄晶圆之干涉仪。本发明揭示一种干涉仪，其用于在晶圆被垂直固持并不因重力而变形之情形下测量大尺寸透明薄晶圆之平整度、厚度变化及平行度。一钠灯提供自一背景萤光屏漫反射至该晶圆之单色光。一参考平整表面充分靠近该晶圆定位以便形成一干涉条纹图，该干涉条纹图案系该参考平整表面与受测晶圆表面之间气隙的度量。该背景萤光屏系倾斜以便可以一相对于晶圆法线之角度观察定域于该气隙处之条纹图案。该背景萤光屏具有梯形标记，当以看到该等条纹所需之角度观看时，该等梯形标记呈现为一栅格。此允许对一固定距离内可看见之条纹数量进行计数以表徵该表面平整度。 |
