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发明名称
用于产生经成形为线形光束之雷射光的系统及方法
摘要
本发明系揭露将一雷射光束成形用以与一薄膜交互作用之系统及方法,其中雷射光束沿着一光束路径移行且界定一短轴线及一长轴线。一态样中,该系统可包括一第一短轴线元件,其具有一定位为沿着光束路径相距薄膜呈一距离d1之边缘,及一第二短轴线元件,其具有一定位为沿着光束路径相距薄膜呈一距离d2之边缘,其中d2<d1。一光学件可被定位为在第二元件与薄膜之间沿着光束路径以在短轴线中聚焦光束用以与薄膜交互作用。另一态样中,可提供一具有一可操作以选择性地调整短轴线元件的一或两边缘的曲率之机构之系统。
申请公布号
TW200745607
申请公布日期
2007.12.16
申请号
TW095138973
申请日期
2006.10.23
申请人
希玛股份有限公司;卡尔蔡司雷射光学股份有限公司 CARL ZEISS LASER OPTICS GMBH 德国
发明人
达斯;斯法洛 亚伯特;诺利斯;希可罗弗 维达利;玛恩兹 哈尔杰
分类号
G02B27/10(2006.01)
主分类号
G02B27/10(2006.01)
代理机构
代理人
恽轶群;陈文郎
主权项
地址
美国
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