光学测定装置及光学测定方法

摘要

提供一种：以简单的构造，而将被检查物藉由彩色画像来作3维观测的光学测定装置。光学测定装置，系具备有对物透镜系，其系将被输入之第1波长的第1光集束于被检查物，而将从该被检查物所反射之第1反射光输出，并将被输入之第2波长的第2光分割为第2参考光以及第2测定光，而将第2测定光集束于被检查物，将从被检查物所反射之第2反射光作输出，同时将第2参考光作反射并使其与第2反射光相互干涉，而输出第3反射光，使用前述第1反射光、前述第2反射光与前述第3反射光之干涉，而产生前述被检查物之3维画像。