整合触媒层及微感测器之燃料电池之制法

摘要

本发明系为一种整合触媒层及微感测器之燃料电池之制法，其包括步骤：一多孔矽层制造步骤、二触媒部产生步骤、三绝缘层形成步骤、四微感测器产生步骤、以及五完成步骤。藉由多孔矽层达到气体扩散层之功能，且复数触媒颗粒系均匀分布于该多孔矽层之孔洞部之侧壁，而使其具有触煤层之功能，再巧妙的将微感测器层结合在一起。因此，本发明具有整合后结构简单、可同时测量温度与湿度与测温度之外还可对内部加温之优点。