湿处理似碟状基材之装置及方法

摘要

本发明揭露一种用于湿式处理似碟状物件的装置，其包含有：-一第一碟件-用于固持一单一似碟状物件之固持构件，其系实质上与该第一碟件平行，-第一配送构件，其系用于在进行加工处理时将液体导入一位于该第一碟件与该第一碟件之间的第一间隙，其中该第一碟件系为一矽碟件，其包含有至少99wt％的矽，在该似碟状物件被进行处理的时候，该矽碟件会与加工处理液体接触。本发明进一步揭露一种与该装置有关之方法。