生产多层光学记录媒体的方法、生产多层光学记录媒体的母版、与其所用之方法

摘要

本案提供一用以生产多层光学记录媒体的母版，其系可以以简单步骤加以生产并可重覆使用。更明确地说，本案提供用以生产多层光学记录媒体的母版，包含：一透光性基材；及一透光性无机光阻层，其中一坑或导槽被形成在该基材上。再者，该母版相对于用于图案化无机光阻层的曝光，具有10％或更高之吸收率，并相对于母版使用时所用之紫外线具有19％或更高之透射比。再者，无机光阻层包含一氧化钨或氧化钼，其具有一组成物，其中该化学计量组成物少了氧。