探针片制造方法

摘要

提供一种探针片制造方法，其在各接触件与探针片本体之结合作业时不须进行针尖之繁杂位置调整作业，即可将该该针间配置于正确之既定位置。该制造方法，包含：藉由在基台上利用微影技术将复数个接触件用之金属材料从各针尖向基部依序堆积、以在该基台上形成复数个接触件的动作，将藉由该基台上所保持之该各接触件之该基部来结合之探针片本体形成在该基台上的动作，以及将该接触件与该探针片本体一体从该基台分离的动作。