| 摘要 |
在较佳实施例中所提供之本发明系一种可堆叠环，用于在水平晶圆运输器具或硬币堆叠运输器具中运输晶圆，特别系带凸块之晶圆，无论系厚的还是薄的种类，而不会损坏晶圆。本发明亦包含水平晶圆运输器具与接纳腔之组合，该接纳腔之尺寸适足以接纳晶圆环与晶圆之堆叠。晶圆环系由刚性材料制成，在邻近顶面及内表面处具有晶圆槽，以使晶圆藉其周缘悬置。提供堆叠结构之装置，举例而言，各晶圆环亦具有邻近底面及外表面之一晶圆环槽，运输器具内位其下方之一部分晶圆环即置于该晶圆环槽中，使环与夹于各邻近环间之晶圆相堆叠可提供牢固且紧密之封装。 |
