薄片状电浆产生装置及使用此之成膜方法以及成膜装置

摘要

提供可放大成膜面积，并且可以使膜厚分布更均匀化之薄片状电浆产生装置，和使用此之成膜装置。为一种薄片状电浆产生装置，是属于使自电浆枪藉由收敛线圈拉出电浆束，延伸于对该电浆束之前进方向呈正交之方向，通过由相向而互相平行被配置成为一对之永久磁石所构成的薄片化磁石形成的磁场之中，而薄片状予以变形的薄片状电浆产生装置，薄片化磁石至少包含一个对应于电浆束之中心侧之部份的排斥磁场强度，比对应于电浆束之外缘侧之部份的排斥磁场强度更强的薄片化磁石。