热处理方法、热处理装置及记忆媒体

摘要

本发明之热处理方法具备：载置工程，其将被处理体载置于可进行内部环境排气的处理容器内设置之载置台上；及热处理工程，于上述载置工程之后，藉由电力供给而动作的加热手段，使上述被处理体升温、维持于特定之设定温度之同时，于上述处理容器内流入特定气体而对上述被处理体施予特定热处理；其特征为：在上述热处理工程之前，进行至少1次之短时间大电力供给工程，其系使较上述热处理工程中上述被处理体之温度维持状态时被供给至上述加热手段的电力为大之电力，仅短时间供给至上述加热手段。