修补聚合物罩幕之方法

摘要

一种修补用于微影制程之图案化聚合物罩幕的缺陷之方法。通常，存在两种类型之聚合物罩幕缺陷，其为透明聚合物基板上的墨水斑点以及图案化区域中的墨水空隙。所述墨水斑点藉由实质上不影响所述聚合物基板之透明度的雷射之有效剥蚀来修补。所述墨水空隙藉由使用雷射辅助修整制程之多种实施例来修补，其中所述雷射辅助修整修复空隙以在微影曝光期间阻断紫外光。