多重鳍状场效电晶体及其制作方法

摘要

一种多重鳍状场效电晶体，包括基底、氧化层、导体层、闸氧化层以及掺杂区。基底被沟渠环绕，且预定形成闸极之区域的基底中具有至少二鳍状矽层。氧化层配置于沟渠中，且氧化层的顶部表面低于鳍状矽层的顶部表面。导体层配置于预定形成闸极之区域中，导体层的顶部表面高于鳍状矽层的顶部表面。闸氧化层配置于导体层与鳍状矽层之间，且位于导体层与基底之间。掺杂区配置于导体层两侧的基底中。