有色负光阻剂合成物,具有色负光阻剂合成物之有色图形,及制造该有色图形之方法

摘要

本发明系关于一种有色负光阻剂合成物，其包括一着色剂(A)、一硷性可溶解的接合剂聚合物(B)、一可光聚合化合物(C)、一光聚合起始物(D)以及一溶剂(E)，其中该硷性可溶解的接合剂聚合物(B)是一聚合物，该聚合物包括下列由分子结构式1所代表之单体及一具有一羧基之单体。本发明之有色负光阻剂合成物可改良一矽晶圆片的附着力，特别是，一氮化矽(SiN)晶圆片，以防止一分散或在衬里内之裂缝发生，且可形成一长方形图形，藉以可有效地应用在一互补金属氧化半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor；CMOS)中。