用于同时决定叠对准确度及图案放置误差之结构与方法

摘要

本发明提供一种用来自单一量测结构取得叠对误差(overlay error)及PPE误差资讯之技术。藉由在单一量测结构中之至少两个不同的装置层中形成一些周期性次结构，而达到上述目的，其中系在该等两个不同的装置层中提供至少一个分段及非分段部分。