光罩缺陷修正方法及半导体装置之制造方法

摘要

本发明之一形态的光罩缺陷修正方法，系在修正光穿透型光罩上之异物所造成的缺陷之光罩缺陷修正方法中，藉由机械手移动光穿透型光罩之透光部上之异物，并将前述异物载置于前述光穿透型光罩之遮光部上。