光电模组之测试装置

摘要

本发明系有关一种光电模组之测试装置，包括一产生一电磁射线或粒子射线之第一射线源、一照射光电模组之第二射线源及一侦测器。此外，本发明尚有关一种光电模组之测试方法，包括下述步骤：照射光电模组，导引一电磁射线或粒子射线及侦测光电模组之复数个缺陷。附加至电磁射线或粒子射线之对光电模组的照射可使缺陷显现出来，否则这些缺陷便无法被侦测出来。