量测方法和装置、曝光装置、曝光方法、以及调整方法

摘要

一种用于量测一光学系统中的一孔径光阑之位置的量测方法，该量测方法包含以下步骤：在与该光学系统中的一光瞳位置光学地共轭的位置上，量测通过该孔径光阑之光的一光强度分布，以及基于由该量测步骤所量测之该光强度分布的一绕射边缘，决定该光学系统中的该孔径光阑之位置。