影像记录方法与影像记录装置

摘要

矩形图案系沿着基板移动方向与垂直此方向之方向而记录于基板(F)上。此矩形图案之线宽可被测量，并且建立遮罩资料以得到光量，用以修正线宽中的改变。当曝光头(24a到24j)被激励而藉由曝光于基板(F)上记录一影像时，从遮罩资料记忆体(82)读取取决于基板(F)之移动位置的遮罩资料，并将之应用以修正输出资料，藉以记录一所需之无局域性的影像于基板(F)上。