发明名称 具有闸极扩张顶部的半导体电晶体
摘要 本发明提供一种具有闸极扩张顶部之半导体电晶体及其制造方法。具有闸极扩张顶部之半导体电晶体包括:(a)一半导体区域包括一通道区域和第一及第二源/汲极区域;该通道区域配置于第一及第二源/汲极区域之间,(b)一闸介电区域,直接实体接触于通道区域,和(C)一闸电极区域,包括一顶部和一底部。该底部直接实体接触闸介电区域。该顶部之第一宽度大于该底部之第二宽度。闸电极区域藉由闸介电区域将通道区域电绝缘。
申请公布号 TW200746425 申请公布日期 2007.12.16
申请号 TW096100670 申请日期 2007.01.08
申请人 万国商业机器公司 发明人 布兰特 艾伦 安德森;维特W C 詹;爱德华 乔瑟夫 诺瓦克
分类号 H01L29/78(2006.01);H01L21/336(2006.01) 主分类号 H01L29/78(2006.01)
代理机构 代理人 蔡玉玲
主权项
地址 美国