| 摘要 |
本发明是一种液浸式及反射折射型的投影光学系统，可抑制边界光学元件的固有双折射的影响，确保较大的像侧数值孔径及良好的成像性能。在将第1面(R)的像形成于第2面(W)的本发明的投影光学系统中，成像光学系统与第2面之间的光路中充满着液体(Lm)。本发明的投影光学系统包括凹面反射镜(CM)、往返光学元件(L21、L22)、多个折射光学元件(P1、L11~L111、L31~L314)、以及边界光学元件(L315、Lb)；其中，上述往返光学元件(L21、L22)配置于由凹面反射镜形成的往返光路中，且由立方晶系结晶材料形成；上述多个折射光学元件(P1、L11~L111、L31~L314)由非晶质材料形成；上述边界光学元件(L315、Lb)由立方晶系结晶材料形成，并且第2面侧的面与液体相接，而第1面侧的面与气体相接。 |
