| 摘要 |
本发明之目的在于减低因载物台(stage)正交误差及镜片畸变而产生的位置误差。本发明之CPU10-2，系用以算出定位在XY载物台10-1上的基准晶圆W0上之复数个基准点计算上的位置座标、与利用雷射干涉计10-4测定该等基准点之测定位置座标(x,y)之间的座标误差△x及△y，根据所算出的座标误差△x及△y，运算XY座标之正交误差，且运算因干涉计之镜片畸变所造成的误差，并储存于记忆装置10-5内。在实际检查晶圆W时，CPU10-2系根据所运算出的正交误差，补正来自雷射干涉计10-4之测定位置座标(x, y)，又根据因所运算出之镜片畸变造成的误差，补正电子束(beam)偏向器10-7之偏向。 |
