氟醇化合物之制造方法,含氟单体,高分子化合物,光阻材料及图案形成方法

摘要

本发明系一种以下述一般式(4)表示之氟醇化合物之制造方法，其特征系使下述一般式(2)及(3)表示之还原剂或有机金属试剂与下述一般式(1)表示之氟化合物反应，(式中，R1表示氢原子或碳数1~20之一价烃基，一价烃基时，构成之-CH2-可被-O-或-C(=O)-取代。R2表示氢原子或碳数1~6之一价烃基。R@#3、R@#4系表示氢原子或碳数1~8之一价烃基。M1系可被取代之Li、Na、K、Mg、Zn、Al、B、Si)。本发明之含氟单体可作为功能性材料、医药农药等之原料，其中也可作为制造辐射敏感光阻组成物之基底树脂的单体使用。依据本发明之方法可轻易且廉价制造单体。