化学增幅正型阻剂组合物

摘要

本发明提供化学增幅阻剂组合物包括：树脂(A)，其不含氟原子，且含有具酸不稳定基团之结构单元(a1)，树脂(B)，其含有具氟基团之结构单元(b2)，及从具酸不稳定基团之结构单元(b1)、具羟基之结构单元(b3)及具内酯结构之结构单元(b4)中选出之至少一结构单元及酸产生剂。